谁知道哪里有卖corning1737或7059玻璃的？

摘 要：采用射频磁控溅射法在ITO/Corning1737玻璃基片上制备了用于无机EL绝缘层厚约700nm的Ba0.5Sr0.5TiO3介电薄膜,研究了沉积温度和退火处理对薄膜介电性能的影响.实验表明,随着沉积温度的升高,薄膜的介电常数、介电损耗、正反向漏电流密度增加,击穿场强下降.对于在500℃下沉积的薄膜在550～700℃、1.8×10-2Pa氧气氛中进行30min退火处理,结果发现在550℃和600℃下热处理介电损耗有所改善,其它参数都劣化;在650℃和700℃下热处理介电常数显著增加,其它性能都变差.
关键词：Ba0.5Sr0.5TiO3;薄膜;介电性能;沉积温度;退火处理

The Effect of Deposition Temperature and Postannealing on the Dielectric Properties of Ba0.5Sr0.5TiO3 Thin Films

LOU Junhui LIN Mingtong CHEN Guorong YANG Yunxia XIAO Tian CHEN Chenxi

作者单位：楼均辉（上海广电电子股份有限公司,上海,200081）
林明通（上海广电电子股份有限公司,上海,200081;华东理工大学材料科学与工程学院,上海,200237）
陈国荣（上海广电电子股份有限公司,上海,200081）
杨云霞（上海广电电子股份有限公司,上海,200081）
肖田（华东理工大学材料科学与工程学院,上海,200237）
陈晨曦（华东理工大学材料科学与工程学院,上海,200237）

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