X射线荧光光谱仪怎样校准？

用粗硅校准。把退火后的高纯粗硅作为标准来校准X射线衍射仪。

内部校准：建议用该仪器供应商的标准物质进行校准（不要用其他品牌的标准物质）。
外部校准：找检测实验室，关注一下他们用的标准物质有没有溯源证书。