谁帮我翻译成中文！！！谢谢了！！！

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/09/22 16:07:21
5.1. Surface types
The effectiveness of different cleaning methods is heavily dependent on the surface being cleaned and what is being removed from the surface. The wafer fabrication process may be broadly broken up into front end of line (FEOL) and back end of line (BEOL). The FEOL is focused on the fabrication of the different devices that make up the circuit and the BEOL is focused on interconnecting the devices. In FEOL cleaning the surfaces being cleaned are typically silicon (Si) or silicon dioxide (SiO2). In BEOL cleaning, metal layers are present on the wafers and the allowable cleaning solutions are limited versus FEOL cleaning.
Surfaces may also be characterized as hydrophobic or hydrophilic. SiO2 surfaces are hydrophilic. Hydrophilic surfaces are easily wet by cleaning solutions and during drying any particles on the surface tend to stay in solution until the solution is removed from the surface. Si surfaces free of oxide are hydrophobic. Hydrophobic surfaces are m

给你大概翻译下吧：
5.1 。地表类型
效力不同的清洗方法是，在很大程度上依赖于正在清洁的表面，什么是被移出地面。在晶圆制造过程大致可被分解成前端线（ feol ）和后端线（ beol ） 。该feol是侧重于制作不同的装置弥补电路和beol是侧重于互联设备。在feol清洗表面被清洗，是典型的硅（ Si ）或二氧化硅（ SiO2 ）的。在beol清洗，金属层，是目前对晶圆，并允许清洁的解决办法是有限的银两feol清洗。
表面也可能被定性为疏水性或亲水性。二氧化硅表面的亲水性。亲水性的表面很容易湿式清洗解决方案和干燥过程中的任何粒子在表面上往往留在溶液中，直到解决的办法是清除出水面。硅表面免费的氧化氮是疏水性。疏水表面比较难清洁，清洁的解决方案不湿以及和干燥过程中的解决方案倾向于"串珠" ，就表面留下颗粒在表面上，而是保持颗粒在溶液中。
分析方法描述弄湿，并确定其是否表面是疏水性或亲水性，是测量接触角，见图5.1 。

5.1. 表面类型不同的清洁方法的The有效率是大量依靠的对被清洗的表面，并且什么从表面被去除。薄酥饼制造过程也许是广泛地分类为的前面行尾(FEOL)和后面行尾(BEOL)。 FEOL集中于组成电路，并且BEOL集中于互联设备的生产不同的设备。 在清洗的FEOL被清洗的表面典型地是硅(Si)或二氧化硅(SiO2)。在BEOL清洁，金属层数是存在薄酥饼，并且允许的清洁解答是有限的对FEOL清洁。
表面也许也被描绘如疏水或亲水。 SiO2表面亲水。 亲水表面通过清洗解答容易地是湿的，并且在烘干在表面的所有微粒期间倾向于停留在解答，直到解答从表面被去除。 Si表面免于氧化物疏水。 疏水表面是更难清洗，清洗的解答不弄湿，并且在烘干期间解答趋向对"串珠"在留下微粒的表面在表面而不是保留微粒在解答。描述湿和确定的表面是否的分析方法疏水或亲水测量交会角，看图5.1。