高斯光束的能量分布

输出得依靠激光器的腔型决定，对248nm而言，应该是KrF 准分子激光，这类激光器一般输出都是高斯光束。这类激光器一般是连续光输出，因此只能用功率分布来表示，应该是高斯分布。光斑内的功率可用刀口法测量，一般的积分也能够获得功率大小。