日本真空（ULVAC日本爱发科)ACS-40000-C4磁控溅射机器靶材的背板不锈钢成分？

这个也不一定，由于磁控溅射镀膜机内对各个部件的导磁性要求比较高，有些比较高端的镀膜机可能会用特种钢来做接近样品的部件，我觉得只确定一种成分就确定不锈钢的型号有可能会出现错误。如果这个对你很重要的话，建议你到有关部门，让他们确定一下。