镀膜 氧化铝材料变黑，有吸收原因请教高手

镀膜 氧化铝材料变黑，有吸收原因请教高手
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近来镀一个5层的结合层膜，发现膜镀完之后变黑，吸收很大。
情况如下，镀前四层取出来发现没有变黑的状况。
镀完全部5层（最后一层Al2o3）变黑，吸收大。
温度 325度，最后层气体调整实验从0-50（因为怀疑氧化不完全） 都没有改变。温度降低230度，镀完也是透明的。想在300度左右来完成这个膜，请教高手。