硅棒打孔的问题

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/30 07:47:59
直径7mm，长100mm的单精硅棒在中轴线上开直径2mm的孔。需要什么工艺，哪里能加工？
1楼的回答显然不行，没那么简单的事。
2楼的回答只能说是提供了个可能能加工的单位，但是明显是copy的，并不对症。

没希望了，还是把硅棒切几段后分段激光打孔吧。

以美国为代表的半导体硅微机械加工方法与传统 IC工艺兼容 ,利用化学腐蚀或集成电路工艺技术对硅基材料进行加工 ,形成硅基微电子机械系统的器件 ,可以实现微电子与微机械的系统集成 ,并适合于批量生产 ,已经成为 MEMS的主流技术。当前硅基微加工技术可分为体微加工技术和表面微加工技术。

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