白光干涉仪的组成部分是？请专业人士介绍下

是什么啊,太专业了,建议你到新华书店找书好好看看吧哥们

白光干涉仪又称为光学3D表面轮廓仪，由LED光源、干涉物镜、压电陶瓷、XY位移平台几个关键组成部分构成，光学显微干涉测量的原理是：光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。在纳米级和亚纳米级超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其精度要求。

哇!楼上的好强哦~强人啊~