齿轮真空渗碳是不是不会变形

这个应该要看你的工艺水平了。还要看你所谓的“变形”允许范围有多大。
理论上，只要热处理就会有一定的变形。但如果工艺控制水平高，轻微的变形在误差范围内是允许的，也就可视为没有变形了。

你可以用表面渗氮，变形很小