单晶硅的滑移线是怎么产生的

贴着哪就可以了吧？影响界面很薄的

我也知道是怎么回事？希望能找到答案！

滑移线根本原因是单晶硅内部的应力超出了晶格的承受能力（屈服强度），导致晶格变形，因变形的差异，宏观上体现为位错，层错，滑移线等。应力分为机械应力和热应力，热应力引起的滑移线是拉晶过程中产生的，一般称作单晶滑移线，往往是拉晶收尾段没收好，温度下降过快，导致晶棒尾部晶格错位，进而产生滑移线。机械应力引起的滑移线，往往是硅片加工中倒角面损伤引起的。因为倒角面损伤会引发外延后的滑移线，又称作外延滑移线。热应力造成的滑移线一般的预防措施是改善热场分布，改善拉速，控制温度曲线等。机械应力引发的外延滑移线一般预防措施是提高倒角面的加工水平，不出伤痕。