四探针法测量半导体电阻率和薄层电阻的问题?

来源:百度知道 编辑:UC知道 时间:2024/06/03 04:41:41
为什麽要用四探针进行测量,如果只用两根探针既作电流探针又作电压探针,是否能够对样品进行较为准确的测量?

意思就是要用欧姆表去直接测量. 欧姆表就是自身产生一个弱电流, 去测量探针两端的电压, 然后和自身的体电阻比较, 最后给出电阻值. 但是这对于半导体是不准确的, 半导体电阻无法用两根探针测量的主要原因是:
1.接触电阻的影响严重。探针与半导体接触产生一定厚度的耗尽层,耗尽层是高阻的, 另外探针和半导体之间不像与金属之间一样很好的接触, 还会产生一个额外的电阻, 称为扩展电阻,两者都是接触电阻,通常都很大. 半导体的实际电阻相对于它们越小, 测量结果就越不准确.
2.存在少子电注入.

专用方法:四探针法, 两根探针输入测量电流, 另外两根探针测量电压分布.
要是懂电流计, 电压计和电阻计的原理, 就能更明白了.

四探针主要是为了让接触更好,形成开尔文测试,那样误差小。