怎样能使转动的轴承密封气体？

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/09/21 06:29:47

我不是很清楚,不过大多数的半导体设备,如AMAT,LAM,TEL等,都有这样类似的东东,dry pump真空泵也可以研究看看!

气密封、水密封、盘根、机械密封，……
常用的也就这几样了

如果技术含量太高,又何必对一种方法钻牛角尖呢? 不计成本另说.

使用气封就能办到