这是化工学中的一句话 高手帮帮忙 谢谢

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/31 22:51:20
The base platform evaluated was the WJ-3200 Atomspheric Presure Chemical Vapor Deposition (APCVD) cluster-tool, with a 7-faceted transport module, two loadlocks capable of 2 wafers each, and an atmospheric front end unit interfacing the factory automation and users with the vacuum loadlocks.
帮忙翻译一下

评估的基础平台是WJ通讯公司- 3200大气压力化学气相沉积（ APCVD ）集群工具，以7面运输模块，两个loadlocks能够每2片，以及大气前端接口单位的工厂自动化和用户真空loadlocks 。