真空镀膜镀不上的原因

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/18 10:36:02
溅射靶材一切完好，电源都是好的，玻璃从真空仓室出来之后，完全是玻璃原片，请各位前辈提点一二！！谢谢
是ITO真空镀膜，靶材已经起辉，完全没有电阻。
开始的时候镀膜完全正常，调试工艺之后，发现镀不上膜了。

那个溅射靶材一切完好，电源都是好的,这是代表什么?代表正常工作吗>?
还是代表它一个螺丝没少?讲得不具体?
首先你自己了解溅射工艺吗?如果是做这行的,基本条件就不用谈了!以下两点是必须你要具备溅射条件才有效成立,不然也是白说的.
1:溅射首先要看它起辉没?
2:如果第一点也具备那代表它进行了溅射程序!但溅射是不是时间过短,功率过小,导致膜层太薄,你看上去以为没有镀!
3:还有点是比较少见的情况,阴极装置有问题,或者是阳极偏压装置出现问题!

1、可能氧过量。
2、靶未启辉。
3、没抽至高真空。

请检查一下气源工作是否正常，还有实际的真空度有没有达到！

要讲清楚镀什么