半导体净化车间的微颗粒达不到class100，对硅片生产有什么影响

去这个里面。bbs.2ic.cn
资料很多。

这个并不会有必然的联系,硅片生产过程中会经过好多到清洗的工艺,目的主要就是为了去掉微颗粒,有与硅片对洁程度要求较高,对环境的控制是为了不引入新的杂质,和医院做手术需要在无菌病房是一个道理.