如何测量散热器的平面度？

光切显微镜
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<br>先指出一点：光洁度是几十年前的老标准的称法，现在叫表面粗糙度。 光切显微镜是一种专用测量粗糙度的设备。
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<br>光切显微镜以光切法测量零件加工表面的微观不平度。最高能判断表面粗糙度0.2，对于表面划痕、刻线或某些缺陷的深度也可用来进行测量。光切法特点是在不破坏表面的关况下进行的。是一种间接测量方法。即要经过计算后才能确定纹痕的不平度。当然计算全部由电脑完成。

不错，接触式的如触针法可能会损伤表面，也不合适高精度。
干涉条纹就是光学干涉法，也是一种非接触的，不会伤测量面，就是调整麻烦了些。

借你的问题刚才搜索了一下网页，竟然新发展了很多方法，参见链接。十几年前我们听都没听过。现在技术确实发展很快。
http://www.wanfangdata.com.cn/qikan/periodical.articles/qhdxxb/qhdx99/qhdx9902/990202.htm