硅片厚度 单片厚度变化TTV ？？

一般来讲，硅片厚度对硅片本身的品质没有什么影响。硅片中真正起作用的只是硅片表面薄薄的一层，其余的都是起支撑作用。TTV是硅片厚度变化量，当然越小越好。TTV是衡量硅片品质的一个很重要的指标。TTV过大可能影响光刻对位精度；甚至还会影响少子复合速度和寿命。