请问半导体性能参数分散性较大是什么意思？谢谢！

一致性和分散性是对器件的性能参数的改变量而言的
分散性大就是说同一批器件参数差异较大
一致性好就是说差异较少

分散性比较大就是uniformity不好。
一个硅片很大，比如8寸或者12寸。经常硅片边上的中间的不一样，芯片图形密的地方和疏的地方也可能不一样。