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铝箔真空退火炉为外热式真空退火炉,简称马弗炉。它由真空系统、内罐、外加热罐、对流搅拌及强制冷却通风装置、炉门行走车、工件运输车、冷却水系统、压缩空气集散系统和电气控制系统等组成。主要技术参数见表1。 

表1 铝箔真空退火炉主要技术参数

设备结构图见图1。

真空系统

        真空系统采用油增压泵及机械泵组成两级抽气系统。选用油增压泵作为主泵,其工作压力范围为10Pa～10-2Pa,优点是在此工作压力范围内,油增压泵具有较大的抽速和出口压力,在炉体高真空挡板阀与增压泵之间设置低温冷凝挡板,可有效地捕集油增压泵返油对铝箔的污染。同时,配备分压保持机械泵作为载气保护工艺时使用,并在保持机械泵前设置节流阀便于分压微量气体调节的控制。系统各主要阀门均为气动结构,突然停电时所有气动阀门将会自行关闭,保护系统不受损失。整套系统具备完善的安全联锁功能,防止误操作,保障系统的安全可靠。

外加热罐

       外加热罐由不锈钢内衬、绝热保温层及外蒙皮等组成。加热器沿径向安装固定在内衬上,分前,中,后三段布置。加热器为镍铬带缠绕而成,设计温度最高为700℃。在外加热罐上装有控制热偶及电极等。为便于维修及更换加热器,外加热罐采用两半对开式,用螺栓联结后装于内罐外部。且充分考虑加热膨胀对罐体的影响,控制加热器与内罐间距,以防因加热引起内外罐热变形而造成电流短路。加热器的均匀布置,可有效防止内罐的受热不均。罐外由烟道连接风机组成强冷系统,热处理后,对内罐进行强制冷却,伴以内罐内对流搅拌,加快了冷却速度,保障了工艺。

内罐

      内罐也称马弗罐,是真空炉的关键部件。它由筒体、导流罩、搅拌风机、轨道、炉门及炉门行走车、抽空接口、测温热偶、惰性气体注入系统等组成。整个结构附件较少,装料空间大。筒体及封头采用耐热不锈钢焊接制成。筒体尺寸为φ1900×3600mm。为防止炉门法兰及密封条因受热变形而失效,前