溅射时ito靶产生裂纹的原因

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/06/25 06:01:20

焊靶时靶块之间要留有缝隙，否则启辉发热会裂。冷却水要畅通，且充分。其他没啥了。

靶材的材质，最主要是冷却效果的好坏，不知道你的冷却条件怎么样，如果不行，就需要改善了。