化学上LICVD法是什么方法？

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/06 18:43:55
在制备纳米级的金属氧化物时，看文献上说外国有采用LICVD法制备的！这是一种什么方法？希望有专业点的朋友说说.万分感谢！

LICVD法是20世纪70年代后期出现的以激光为加热热源，诱发气相反应的合成纳米粉末技术。激光法主要用于合成一些用常规方法难以获得的化合物粉末。连续激光LICVD法制备纳米粉末的基本原理是：由质量流量器控制反应气体经混合后以一定的流速喷出，与垂方向的激光束相交，形成高温火焰，反应气体在激光的作用下迅速分解、化合，生成物经快速气相凝聚成核、生长后快速冷却，在气流惯性和同轴惰性气体及机械泵的作用下载入粉体收集装置。用LICVD法制得的主要产品有纳米硅基粉体(主要有SiC、Si3N4、Si、Si02)以及纳米氧化物粉体。LICVD法具有能量转化率高，粒子大小均一，且不团聚，粒径大小可精确控制等优点，但成本高，产率低，难以实现工业化生产。

激光诱导化学气相沉积