超光滑表面光学元件检测技术研究的目的 给20分

光刻设备，航空镜头、激光位移干涉仪的反光镜等都对镜片面型有很高的要求，蔡斯在90年代开始购买离子束抛光机，尼康也在2005年左右购入离子束抛光机，都用在光刻镜头的加工上面。这种抛光机可以奖镜片抛光到RMS0.1nm的水平。但是要达到这种水平，就必须有相关的测量设备。
球面的面型检测一般用激光干涉仪器，但是zygo等的干涉仪并不能达到RMS0.1nm的测量精度，目前蔡斯和尼康用的检查设备都是自己开发的，并不外售。也就是说这是它们的关键技术之一。