ITO镀膜玻璃5、6、7代线对ITO靶材尺寸各有什么要求

常规是14、16英吋，但现在随着用途的不同，主要是大屏，所以很多基片小车搞得很大，可以上14、16的24片玻璃。
14、16的24片玻璃的，宽度200mm，长度1120mm即可

得根据设备的生产需要来设计啊，有双层玻璃的，有三层玻璃的，一般一层玻璃不用了，除非大尺寸玻璃。同时移动靶和非移动靶的尺寸也不同，这些都得根据实际需要来设计。

谢谢回答，我主要是想针对靶材尺寸及性能要求做一些了解，希望能全面一点！

没有具体的要求,主要看你自己的设备的靶座的尺寸.