真空电镀有没有可用的公式?

1、玻义尔定律

体积V，压强P，P·V＝常数

一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。

即P1/P2＝V2/V1

2、盖·吕萨克定律

当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：

V1/V2＝T1/T2＝常数

当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。

3、查理定律

当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其绝对温度T成正比，即：

P1/P2＝T1/T2

在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。

4、平均自由程：

λ＝(5×10-3)/P (cm)

5、抽速：

S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P
Q＝流量(托·升/秒) P＝压强(托) V＝体积(升) t＝时间(秒)

6、通导： C＝Q/(P2-P1) (升/秒)

7、真空抽气时间：

对于从大气压到1托抽气时间计算式：
t＝8V/S (经验公式)
V为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。

8、维持泵选择：

S维＝S前/10

9、扩散泵抽速估算：

S＝3D2 (D＝直径cm）

10、罗茨泵的前级抽速：

S＝(0.1~0.2)S罗 (l/s)

11、漏率：

Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1)
Q漏－系统漏率(mmHg·l/s)
V－系统容积(l)
P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg)
P2－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)
t－压强从P1升到P2经过的时间(s)