硅片表面有砷和磷用什么化学试剂清洗?

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/06/15 15:46:17
单晶硅片上做过检测了，如砷，磷等，要清除这些杂质，要什么化学试剂或是什么方法去除，到原来的单晶硅片表面无杂质！
如果P型单晶硅片上有多晶硅，要什么化学剂清洗呢？有什么更好的方法呢？？

因为砷，磷是同一主族的元素，因此化学性质是相似的。
因为磷能溶解于CS2溶液，所以砷也能溶解CS2溶液。
但是硅是不溶的。

单晶硅棒上若有多晶硅，应该切掉，是没有办法清洗的。

可以用硝酸