什么是驻波效应
来源:百度知道 编辑:UC知道 时间:2024/05/16 04:35:05
微电子制造工艺中的一种现象。
在微细图形光刻过程中,一般曝光光源为单色或窄带光源,在由基片、氧化物层和抗蚀剂等组成的多层膜系情况下,由于膜系各层折射率不同,曝光时入射光将在各层膜的界面处发生多次反射,在光致抗蚀剂中形成驻波。
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微电子制造工艺中的一种现象。
在微细图形光刻过程中,一般曝光光源为单色或窄带光源,在由基片、氧化物层和抗蚀剂等组成的多层膜系情况下,由于膜系各层折射率不同,曝光时入射光将在各层膜的界面处发生多次反射,在光致抗蚀剂中形成驻波。