离子注入 危害

同时束流达毫安级的大束流离子注入机,能量在100kev以下,也得到迅速的发展。随着束流的提高,注入剂量的增大,离子注入机的辐射剂量也随之增大。测量结果表明,

离子注入机的辐射线主要是X—γ射线,

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参考资料——
http://epub.cnki.net/grid2008/detail.aspx?filename=WXJS198302008&dbname=CJFD1983