请问采用磁控溅射镀膜膜厚最多能镀到多少？

奇怪的提问
磁控溅射理论上的镀层厚度是原子/分子厚度到100纳米级别，当然更厚也可以，只要溅射时间足够长+靶材足够多。
一般是做表面处理或是纳米膜的制备。

一般做超硬膜也就是3微米左右，设备配置高些的，3个多小时可以做到5微米。