真空镀铝发黑

来源:百度知道 编辑:UC知道 时间:2024/05/30 07:34:10
我们采用真空蒸发镀纯铝薄膜,铝原材料为0.3mm厚度的铝箔,蒸发采用陶瓷蒸发舟,薄膜蒸镀在玻璃基片上,但是出来的薄膜为黑色的,不知道为什么,请大家指教!谢谢先!

一是可能设备有扩散泵,有返油;
二是可能膜料少了,镀薄了,不亮;
三是可能镀的时间长了,或者工件离蒸发舟太近,温度太高。

镀薄了是肯定的,为什么会镀薄?1,玻璃基片上没处理干净.2,扩散泵因天热,水温过高,造成了扩散泵返油,污染真空室.3开启蒸发舟挡板,未全部打开.4,真空度低也有可能.

真空度太低,抽到-3Pa在做就白了。

a真空度太低b铝箔加太少c蒸发时间太长电流刚开始过大