EPI阻值,厚度，阻值均匀性，厚度均匀性与什么有关，并怎么控制

FTIR 傅氏转换红外线光谱分析仪
用于半导体制造业。FTIR乃利用红外线光谱经傅利叶转换进而分析杂质浓度的光谱分析仪器。
目的：·已发展成熟，可Routine应用者，计 有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量预测。 B.芯片之含氧、含碳量预测。 C.磊晶之厚度量测。·
发展中需进一步Setup者有： A.氮化硅中氢含量预测。 B.复晶硅中含氧量预测。 C.光阻特性分析。FTIR为一极便利之分析仪器，STD的建立为整个量测之重点，由于其中多利用光学原理、芯片状况（i.e.晶背处理状况）对量测结果影响至钜。
目前所有的红外光谱仪都是都是傅里叶变换型的，光谱仪主要由光源（硅碳
棒、高压汞灯）、迈克尔逊干涉仪、检测器和干涉仪组成。而傅里叶变换红外光谱仪的核心部分是迈克尔逊干涉仪，把样品放在检测器前，由于样品对某些频率的红外光产生吸收，使检测器接受到的干涉光强度发生变化，从而得到各种不同样品的干涉图。这种干涉图是光随动镜移动距离的变化曲线，借助傅里叶变换函数可得到光强随频率变化的频域图。这以过程可有计算机完成。
用傅里叶变换红外光谱仪测量样品的红外光谱包括以下几个步骤：
1)、分别收集背景（无样品时）的干涉图及样品的干涉图;
2)、分别通过傅里叶变换将上述干涉图转化为单光束红外光；
3)、将样品的单光束光谱处以背景的单光束光谱，得到样品的透射光谱或吸收光谱。

EPI（Expanded Programme on Immunization），也就是扩大免疫规划，其由来和发展如下：
70年代初期，世界卫生组织统计亚、非、拉丁美洲的发展中国家(不包括中国)，每年出生婴儿超过8000万，但是接受百日咳、白喉、破伤风、麻疹、脊髓灰质炎和结核免疫的儿童，还不到10%，而且多为突击性接种。因上述六种传染病每年要死亡500万儿童，同时还有500万儿童留下失明、瘫痪等后遗症。但是在经济发达的国家，由于广泛开展预防接种，已成功地降低了上述传染病的发病率与死亡率。
基于消灭天花和经济发达国家控制上述传染病的经验，1974年5月第27届世界卫生大会通过一项决议，要求各成员国《发展和坚持免疫方法与流行病监督计划，防止天花、