单晶炉棘手问题

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/06/17 00:52:21
单晶炉,热冷检都不漏气,能抽到0.1Pa,2分钟漏0.1.就是等晶过程中氧化,所有管道,密封圈都检查过,还是漏,有很长一段时间拉,电磁阀,弯头都没问题, 棒子有彩色的，但是没有漏水的地方，好一炉坏一炉 。
请问哪个高手见过,或者能解决这中问题
炉内氧化物很多 ,5个九的
北京炉，磁流体也换过，也在转动下检的，氩气也一直是一个供应商，别的炉没有这个问题

我以前遇到很多，热冷检后的参数很好啊！！！介意可以做几步检查，在测漏的时候，下传动这边注意下（操作：坩埚给个8转然后手动升降，毕竟怕下转动磁流体密封出问题，个人经验）既然有氧化，很直观点的就是石英坩埚问题比较大，介意换换石英坩埚的供应商。我遇到这些问题一般都是排除法，主要的几个点就是上面说的 另外还有原料和氩气吧。

你那里是那里的炉子,我这里也有过的..
Q我283535042

肯定有漏水或者漏气 好好在检查 料是几个九的

惰性气体不纯 氧含量或水分较大