利用扩散炉制备半导体芯片

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/16 19:32:55
阐述利用扩散炉制备半导体芯片时所要用到的设备，原材料，大致的工艺参数（温度，气氛，流量等等），非常感谢！

有关半导体工艺的书籍中都有详细的介绍。 例如：
S.A.Campbell,微电子制造科学原理与工程技术，曾莹等翻译，电子工业出版社，2003

你是电子07级的吗？