如何改善单极式变极距型传感器的非线性?

来源:百度知道 编辑:UC知道 时间:2024/05/12 05:15:23
如题

单极式变极距电容传感器的灵敏度和非线性对极板初始间隙的要
求是相反的,要改善其非线性,要求应增大初始间隙,但这样会造成
灵敏度的下降,因此通常采用差动结构来改善非线性。