请教直流磁控溅射电源问题

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/18 02:01:31
我做直流实验时 一点开直流磁控溅射电源按钮 电压马上升到500多伏 请高人指点一下

这是正常的，一般直流溅射电源在功率调节旋流最小的情况下，一打开电源就会有一个电压值，随后此值会有所减小

直流磁控的电压300~600V之间

正常，调节下输出功率吧。从小渐渐加高