碳化硅在半导体设备中的应用？

在半导体加热设备中用到的发热体有的就是碳化硅棒（当然，多数是用加热丝）。
另外，在研磨片子时所用的磨料就是碳化硅粉末。
至于碳化硅单晶，那是一种宝贵的半导体材料，可用来制作元器件件。

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根据性质可分为三类：1、耐磨材料（如，研磨剂），2、耐高温材料（如，坩埚，加热源），3、宽禁带半导体材料（如，短波发光器）

扩散炉的炉管，boat and sled