ICP刻蚀中的ICP是什么意思？

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/26 09:59:08
ICP刻蚀中的ICP是什么意思？

ICP(Inductively Coupled Plasma)即感应耦合等离子体刻蚀是微细加工技术的重要组成部分。在集成光学、光电子学、微机械系统(MEMS)、光子晶体等领域都有广泛应用