EDX的工作原理

EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的， 根据波长测定试样所含的元素，根据强度测定元素的相对含量。

常用的EDX探测器是硅渗锂探测器。当特征X射线光子进入硅渗锂探测器后便将硅原子电离，产生若干电子-空穴对，其数量与光子的能量成正比。利用偏压收集这些电子空穴对，经过一系列转换器以后变成电压脉冲供给多脉冲高度分析器，并计数能谱中每个能带的脉冲数。

http://bbs.chinaecnet.com/pdf/2006423193235.doc

原理：通过高压产生电子流打入到 X 光管中靶材产生初级 X 光，初级 X 光经过过滤和聚集射入到被测样品

产生次级 X 射线，也就是我们通常所说的 X 荧光，X 荧光被探测器探测到后经放大，数模转换输入到计算机。

计算机计算出我们需要的结果。