铜与硅在一起存在的形式，是固溶体还是那种金属间化合物？确定其中第二相和基体相。

关键词：W-Si-N,扩散阻挡层,热稳定性,铜互连
作者：陆华,屈新萍,王光伟,茹国平,李炳宗
概述：研究了W-Si-N三元化合物对铜的扩散阻挡特性.在Si(100)衬底上用离子束溅射方法淀积W-Si-N,Cu/W-Si-N薄膜,样品经过高纯氮气保护下的快速热退火,用俄歇电子能谱原子深度分布与X射线衍射以及电流-电压特性测试等方法研究了W-Si-N薄层的热稳定性与对铜的阻挡特性.实验分析表明W-Si-N三元化合物具有较佳的热稳定性,在800℃仍保持非晶态,当W-Si-N薄层的厚度仅为6nm时,仍能有效地阻挡铜扩散.
参考文献：