请问XPS是一种什么材料检测方法

xps是用来检测半导体材料气体的检测仪器型号。

检测原理
定电位电解式

采集气体方法
泵吸引式

XPS是X-ray Photoelectron Spectroscopy 的简称，中文名叫X射线光电子能谱仪，是一种检测材料表面（约10nm深度）元素成份及价态的精密仪器。该仪器国内并不多见，主要集中在北上广等经济发达区的高校和科研院所，华中地区可找长沙中南大学0731-88830703