硅微加速度传感器怎么测试

不明白你说的“测试”指什么。一般来说，你首先要根据它的典型电路搭一个辅助电路，通常是一个电阻桥，然后用示波器跟踪它的输出。精度测试需要一个精度源，例如一个转台，把加速度计放在上边，然后转动转台改变加速度计对地的角度，则加速度计所受的重力加速度随之改变。根据转台转过的角度和加速度计的输出，可以测试其精度。可靠性测试需要把这套装置放在振动、温度冲击等设备里。