什么是注入？ 原理是什么

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/25 03:19:00

你说的应该是半导体工艺中的注入吧?
注入就是首先把要注入的元素(如,硼、磷)的化合物进行电离，而后经过高压磁场(筛选注入的元素)高速打进硅芯片中
注意，此种方式搀杂深度低，后续还需热处理以削弱损伤(分子排步损伤)