微小点温度测量相关知识

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《激光微细加工中微小曝光区温度测量系统的改进》
The Improvement of the Temperature Measurement System for the Small Exposed Region in Laser Assisted Microprocessing
<<计量与测试技术 >>2003年04期
谢兴盛 , 吴云峰 , 叶玉堂 , 杨先明 , 秦宇伟

在半导体的激光微细加工技术里,需要对微小曝光区域的温度分布进行不接触测量.文献[6]报道的温度测量系统基本满足这一要求,但在实际使用过程中还存在一些需要克服的困难.首先是温度分辨率和温度测量范围不能同时满足使用要求,其次是不能进行温度分布的准确测量和最高温度点的准确定位.本文提出了对原有系统的改进方法,改进后的计算机温度测量系统较好的解决了原系统存在的这些问题.

关键词： 半导体 , 激光微细加工 , 温度测量 , 计算机控制

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