四氟是什么物质,有何用途?
来源:百度知道 编辑:UC知道 时间:2024/05/15 02:26:10
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是聚四氟已稀,是一种塑料,有很强的抗酸碱腐蚀能力。
四氟甲烷
中文名称: 四氟甲烷
英文名称: tetrafluoromethane
中文名称2: 四氟化碳
英文名称2: carbon tetrafluoride
CAS No.: 75-73-0
分子式: CF4
分子量: 88.01
理化特性
主要成分: 纯品
外观与性状: 无色无臭气体。
熔点(℃): -183.6
沸点(℃): -128.0
相对密度(水=1): 1.61(-130℃)
饱和蒸气压(kPa): 13.33(-150.7℃)
临界温度(℃): -45.5
临界压力(MPa): 3.74
溶解性: 不溶于水。
主要用途: 用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。
健康危害: 能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
燃爆危险: 本品不燃,具窒息性。
危险特性: 不燃。若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。
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