能不能简单帮我介绍下MOCVD
来源:百度知道 编辑:UC知道 时间:2024/05/25 00:28:59
金属有机化学气相沉积(MOCVD)法是利用金属有机化合物作为源物质的一种化学气相淀积(CVD)工艺.
详看:
金属有机化学气相淀积(MOCVD)系统简介http://www.nju.edu.cn/cps/site/pemst/CHS/lab/Devices/Mocvd/MOCVD.html
Pd-Y合金膜的MOCVD研制http://www.wanfangdata.com.cn/qikan/Periodical.Articles/gdxxhxxb/gdxx2000/0001/000104.htm