EDS与EDX有什么区别？

来源：百度知道编辑：UC知道时间：2024/06/08 19:22:50

都是X射线能谱仪吗？另外，什么仪器可以比EDS更准确的定量？

EDX是荧光分析，EDS是能谱分析，后者不是x射线能谱仪，如果想准确定量，可以考虑化学分析，XPS,或者俄歇分析(AES)，XPS和AES对表面含量较为适合。

EDX:Energy Dispersive X-Ray Fluoresence Spectrometer
能量色散X射线荧光光谱仪

EDS:Energy Dispersive Spectrometer
能量色散谱仪