PLD制备ZnO薄膜的实验过程

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/16 23:38:03
有人知道的快点给我说下、
再问个ZnO薄膜的硫化过程怎么写？
谢谢了
我想知道PLD制备ZnO薄膜的实验过程，我写论文，但实验没有做，老师只给了我数据，实验过程没法写。哪位大哥大姐帮帮忙呀，谢谢了

采用脉冲激光淀积 (PLD)法在单晶Si(10 0 )衬底上淀积了ZnO薄膜。XRD、TEM和AFM分析表明 ,淀积的ZnO薄膜具有良好的c轴取向性和表面平整度。通过改变淀积气氛或在纯氧中高温退火 ,ZnO薄膜的电阻率提高到 10 7Ω·cm。这些结果表明 ,用PLD法淀积的ZnO薄膜能够满足声表面波(SAW )器件的需要。