真空度与洗靶之间的关系？

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/05/20 15:29:04
在PVD工艺中通入氩气洗靶，洗靶结束后真空度比通氩气前还下降两个数量级左右，请问怎么解释？
谢谢！
sorry！ 是真空度提升2个数量级。从0.2到0.007PA

真空度是对于真空室来说的.你往真空室里面通入了气体,真空度肯定是要降低了.
你通过真空泵把真空室里的气体抽出来,真空度会慢慢的升高,往里面通入气体真空度就会降低.
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