真空镀膜---掉膜

来源：百度知道编辑：UC知道时间：2024/05/16 13:51:18

PMMA加硬板上镀Sn，用手指稍用力擦一下，就掉膜了。请问为什么？是什么原因导致的？
我是采用真空溅镀。没有离子轰击，可以加热。采用了Sn+Al，同时充氧，有时可以，有时还是掉。
但不是很明白其机理。请各位指教一二？

掉膜的原因有很多，如电解液配制比例不对，电流太小，胚体抛光质量不好等，最好逐项检查一下。

pmma材质的蒸镀一般温度都比较低，如果第一层材料和pmma结合力不好的话，就产生膜弱，你说的情况是典型的膜强度低。
解决的方法一般为，提高真空度的同时改进第一层为容易与pmma结合的sio或者别的材料。再不行的话，应该加厚第一层试一下。

金属膜本来就是很软的,你在外面再镀层al2o3,用离子原辅助,