光刻中的半波长效应是什么？

当波从波疏介质射入波密介质，在介面上发生反射时，就会产生 的相位突变(其原因参见《大学物理学难点专题辅导》P.365，杨建华，苏惠惠主编)，由于位相差与波程差的关系为 意味着波程相差 ，即波在反射点处，如同多或少传播了半个波长的距离，这就是为什么称这种相位突变为半波损失的原因。

半光损失是指光从光疏介质到光密介质反射回来时,会有半个波长的损失