什么是zebent？

来源：百度知道 编辑：UC知道 时间：2024/06/01 20:06:34
半导体行业中表示吸附剂的zebent具体是什么意思？

1 工业废气用吸附剂系列产品

产品 去除气体 形态 大小
Zebent HS 系列 H2S,硫醇及其衍生物 片状 8～10mm
ZeCO CO 片状 1.5～3mm
Zebent NH系列 NH3，胺类化合物 片状 7～10mm

应用领域：去除制造业、焚化炉和半导体、钢铁厂等领域产生的氨、硫化氢、氯化氢、一氧化碳等有害气体。

2 半导体产业废气用吸附剂系列产品

产品 去除气体
Zebent 1 系列 BCl3,BF3,Cl2,F2,HBr,HCl,HF,SiCl4
Zebent 2 系列 SiF4,SiH2Cl2等
Zebent 3系列 SiH4,Si2H6,TEOS,TMB,TMP等
Zebent 4系列 NH3等
Zebent 5 系列 AsH3,PH3,TEM,TEP,TMB,TMP等
Zebent 6 系列 BCl3,BF3,Cl2,F2,HCl,HF等
Zebent 7系列 BCl3,Cl2,ClF3,F2,HCl,SiCl4,SiF4等
Zebent 8 系列 TEB,TEOA,TEOS等

应用领域：用于半导体生产加工过程中产生的毒性及强腐蚀性为期。

3 空气净化用吸附剂系列产品

产品 形态 大小
Zebent DOV-1 系列 片状 3~4mm

Zebent DOV-2 系列 球状 3~5mm
Zebent DOV-3系列 球状 1~5mm
ZeCO-1 片状 1.5~3mm
ZeCO-2 球状 1~5mm